Improving Polishing Efficiency of RB-SiC through Femtosecond Laser Pretreatment
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资源简介：
Improving Polishing Efficiency of RB-SiC through Femtosecond Laser Pretreatment Paper Data
通过飞秒激光（femtosecond laser）预处理提升反应烧结碳化硅（RB-SiC）抛光效率的论文数据集
提供机构：
Chaoyang Wei; Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
创建时间：
2023-05-25
