NbN SNS结的单元电路研制工艺参数

数据集基于NbN材料和SNS结设计制备NbN RSFQ电路。利用NbN薄膜的大电感、高超导转变温度和大能隙特性，以及SNS结的本征阻尼特性，来解决超导电路在速度、功耗和集成度方面面临的挑战，为下一代超大规模超导集成电路提供技术储备。主要包括SNS结工艺流程的设计及各步骤下参数的优化、SNS结电流-电压特性的表征及结的临界电流密度提取、NbN SFQ器件集成度的提升及统计、电路集成工艺的优化及规则制定、几种典型单元电路的设计、制备及电路波形测试等数据。