原型量子器件构建数据集

该数据集对应的项目主要目的是利用适应模板生长方法，并进一步优化各方面参数，实现具有良好性能的单原子级鳍式场效应晶体管(FinFET)。相关的实验数据通过Nikon eclipse LV100D立式光学显微镜、Bruker Dimension Icon系列原子力显微镜和30kV的扫描电子显微镜进行形貌采集，通过Cascade Microtech Inc探针台和Keysight B1500半导体参数分析仪进行电学性能采集，主要记录了单原子级鳍式场效应晶体管的形貌照片，且具有良好的性能，数据量约60MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于利用适应模板生长方法优化参数，以构建高性能的单原子级鳍式场效应晶体管原型器件。通过光学显微镜、原子力显微镜和扫描电子显微镜采集形貌数据，并结合探针台和半导体参数分析仪记录电学性能，数据总量约60MB。