喷砂表面粗糙度在线测量实验数据

该数据集主要面向表面粗糙度在位检测功能验证，现有检测方法通常为人工采用接触式检测仪器手动检测每个点的表面粗糙度数据，效率低同时探针容易磨损，因此急需无损在位检测方法，本项目研制了基于协作机器人与数字全息表面粗糙度检测仪的在位检测系统，通过协作机器人六自由度空间运动功能以及末端多激光测距传感装置，精准定位与待检测平面的角度和位置，研制了双波长数字全息表面粗糙度检测仪，利用可调谐激光器将波长分别调整至 =633.27 nm 和 =633.44 nm，对应的合成波长约为2.36 mm。激光器发出的激光经扩束准直镜后, 通过可调光阑调节光束直径，以有效降低杂散光进入系统。再经过1:9分光片分成两路，其中一束光照射到被测样品表面，反射后的物光依次经过成像透镜和光阑，然后通过分光棱镜后成像于CCD。另一束作为参考光，经分光片透射、反射镜反射后通过分光棱镜以微小入射角入射CCD，与物光干涉形成全息图。在参考光路中放置衰减片，以调节参考光强度，使之与物光强度匹配，从而获得高对比度的干涉条纹。该系统依次记录两幅对应不同波长的全息图，以获取双波长干涉信息。对两幅全息图进行数据处理，即可得到所测位置点的表面粗糙度数据，所提供数据于2025年10月10日采集于上海大学东区机自大楼，在一块做过喷砂处理后的样件上，标识出53个待测位置点，每个位置点采集两幅全息图，经过Matlab软件处理获得最终表面粗糙度值，数据量为514M。