脉冲激光法制备大面积高均匀性超晶格数据集

设计并搭建了大尺度氧化物薄膜脉冲激光分子束外延系统，该系统创新集成激光振镜扫描、靶台自转及反射式高能电子衍射仪实时监控技术，并配合激光能量、脉冲参数、靶基距离等关键工艺的精准控制，可实现大面积超晶格氧化物薄膜的均匀外延。数据集大小约为97 MB。数据类型包括txt，opj，png和tiff等。数据集可开放访问。