G003_SupplementaryData1.xlsx

Raw data for the paper "Modified Levey-Jennings Chart with Robust Estimator: A Case of Semiconductor Manufacturing Process". Dataset and stastical analysis data.本资源为论文《基于稳健估计量（Robust Estimator）的改进型利维-詹金斯质控图（Levey-Jennings Chart）：以半导体制造工艺为例》的原始数据，包含数据集与统计分析数据。