Structural Data for the Zincone ALD/MLD Hybrid Thin Film Growth Reactions
收藏DataONE2024-04-08 更新2024-10-19 收录
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资源简介：
Dataset containing zincone ALD/MLD hybrid thin film structures modeled using DFT.
本数据集包含采用密度泛函理论（Density Functional Theory，DFT）建模得到的zincone原子层沉积（Atomic Layer Deposition，ALD）/分子层沉积（Molecular Layer Deposition，MLD）混合薄膜结构。
创建时间：
2024-09-25
