Grating groove density data corresponding to interference fields calibrated by automatic calibration method
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资源简介：
Detailed grating groove density data corresponding to interference fields calibrated by automatic calibration method. The data includes measured values, theoretical values, and groove density error.
经自动校准方法（automatic calibration method）标定的干涉场（interference fields）所对应的详细光栅槽密度（grating groove density）数据。该数据集包含实测值、理论值以及槽密度误差。
提供机构：
Optica Publishing Group
创建时间：
2024-05-28
