Fig 10
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Percentage of ALD papers containing a specific word pertaining to applications of ALD in their titles. Data for the article "Characterizing the Field of Atomic Layer Deposition: authors, topics, and collaborations"
标题中包含与原子层沉积（Atomic Layer Deposition）应用相关特定术语的原子层沉积相关论文占比。本数据集的数据来源于论文《原子层沉积领域特征分析：作者、研究主题与合作关系》
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2017-12-15
