4d5d族过渡金属氧化物薄膜材料生长数据集

4d、5d族过渡金属氧化物薄膜材料生长数据集是由北京师范大学与清华大学联合建立的数据库查询网站，本数据集数据是由团队采用荷兰TSST公司激光分子束设备制备钛酸锶和铱酸锶超晶格薄膜样品。利用激光分子束外延设备配备的高能反射式电子衍射（reflection high-energy electron diffraction，RHEED）技术，获得单原子层生长的震荡数据以及衍射斑点数据。该激光分子束外延设备温度可控最高可达1100摄氏度，真空10-9mbar，可实现单原子层的精确可控生长。外延薄膜制备的单晶钛酸锶衬底由合肥科晶购买所得，所用的陶瓷靶材由中科院物理所合作者提供。