车规级MEMS惯性芯片批量制造平台开发数据集

本数据集数据来源于国家重点研发计划项目“汽车级高精度组合导航传感器系统开发及应用”（项目编号：2021YFB3202300）。随着汽车电动化、智能化和无人化迅猛发展，自动驾驶技术不断成熟，开始进行批量应用，而汽车传感器等核心部件严重依赖进口。MEMS惯性传感器可以获取高动态的车辆运动信息，提供汽车定位和姿态信息，是汽车自动驾驶导航定位的核心。目前汽车用MEMS惯性传感器都是国外厂商生产，而国内还没有车规级的MEMS惯性芯片。以实现车规级MEMS惯性芯片批量制造平台与生产验证，开发标准制程和工艺规范。在现有的MEMS器件的生产平台上，导入汽车级高精度惯性传感器的生产能力，依托产品需求，形成车规级MEMS惯性传感器的的标准制程规范，实现规模化生产。依托项目单位MEMS生产线，研究开发车规级MEMS惯性芯片批量生产制造技术，在现有的MEMS芯片生产平台上，导入汽车级高精度惯性传感器的生产工艺，依托产品需求，形成适合于产品生产制造的标准制程规范，形成车规级MEMS惯性传感器的标准制程规范和生产质量控制方法，实现规模化生产，形成汽车级高精度惯性传感器的制造平台，数据集中主要记录汽车级高精度惯性传感器的制造平台的关键工艺参数变化量以及相关工艺方案方法，数据量为12MB。