一种偏振相机差动白光干涉测量装置

本发明公开了一种偏振相机差动白光干涉测量装置，白光光源发出的光经过可变光阑和第一透镜组后，到达分光棱镜组；分光棱镜组将入射光分为两束，一束经过第四透镜组后达到样品台，另一束在经过偏振分光棱镜后被分成p偏振光和s偏振光两路；p偏振光和s偏振光被反射后从偏振分光棱镜出射，并与从样品台反射回来的光在分光棱镜组处产生干涉；干涉光从分光棱镜组出射后到达由第二透镜组和偏振相机组成的单相机同步图像收集模块中，得到p偏振光和s偏振光的干涉图像；利用零光程差点实现对样品台上所放置待测样品的三维形貌测量。上述装置结构简单，增强了白光干涉仪光路的抗噪声能力，并提高了三维形貌恢复算法的精度。