一种用于多孔吸附装置上的样品承载结构

本发明公开了一种用于多孔吸附装置上的样品承载结构，包括载板，载板包括彼此相对的承载面和结合面，承载面上设置有第一凹槽，第一凹槽的外侧设置有第一吸孔，结合面上设置有第二凹槽，第二凹槽与第一吸孔相互连通；其中，第二凹槽用于覆盖多孔吸附装置的多个吸附孔，第一凹槽在样品上的正投影至少覆盖样品的处理区域，第一吸孔用于吸附样品的非处理区域的至少部分。本发明解决了现有的具有多孔吸附孔的涂胶机和曝光机无法正常吸附具有多个通孔的样品的问题和在同一工艺步骤中双面涂胶曝光的问题。