LN薄膜层与二氧化硅界面原始数据

铌酸锂薄膜材料处于通信领域链上游，基于铌酸锂薄膜材料做成的光学器件，满足宽带通信系统对高性能、轻量化和集成化的迫切需求。通过对离子注入束流及时间曲线的控制，采用氨基及键合等技术工艺组合，解决铌酸锂薄膜材料和硅基光子衬底大面积键合的技术问题。