HfO2基铁电薄膜电容测试结构测试原始数据

基于掺杂HfO2铁电薄膜材料的电容测试结构，其电容矫顽场和铁电剩余极化的数据。数据说明文件为HfO2基铁电薄膜电容测试结构测试数据说明.docx，“2018YFB2202802-002-HfO2基铁电薄膜电容测试结构测试原始数据” 文件夹包含的数据内容为电容矫顽电场和铁电剩余极化，内含图表合集、支撑数据两个文件夹。命名格式为：2018YFB2202802-002- HfO2基铁电薄膜电容测试结构测试原始数据-图表合集、2018YFB2202802-002- HfO2基铁电薄膜电容测试结构测试原始数据数据-支撑数据，分别内含2个图片、2个.dat数据文件。数据来源：使用RADIANT Premier II铁电测试仪，对掺杂HfO2铁电薄膜材料的电容测试结构进行P-V测试，通过P-V滞回曲线中两个剩余极化为0的点对应的电压，通过计算即可得到对应的电场强度，读出外加电压为0时的剩余极化强度为铁电剩余极化强度。