Micro-LED外延片PL光学性能
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
本数据集主要面向高均匀性 Micro-LED 外延制备工艺研究，通过生长载盘设计，生长衬底设计，外延生长工艺设计等多维度进行协调控制，获得了均匀性良好的外延片；基于光致发光、荧光光谱法和反射原理，利用PL谱扫描成像仪，外延片以0.4mm步进移动扫描，选择正中间2cm*2cm面积包含数据计算均匀性、标准差，记录过程数据与计算所得数据，数据量13.1MB。
提供机构：
厦门乾照光电股份有限公司
