电子束和离子束标准参数数据库
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-11-08 收录
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资源简介：
本数据集概述电子束和离子束标准数据库，数据来源于国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）实测结果，可按文中描述方法查阅相应数据。文中展示电子束5kV和15kV在HR、MHR和UHR模式下不同样品的成像实例，以及离子束5kV和30kV不同束流的成像实例。
提供机构：
上海精测半导体技术有限公司
