超导传输线芯片传输性能测试

本数据集是基于超导传输线芯片在液氦温度下的S参数测试，布线金属为超导金属铌，传输线类型为共面波导（CPW），CPW传输线长度10mm。信号（signal）线宽设有50μm、68μm和90μm等。本数据集通过超导传输线S参数的测试，有助于提升超导集成电路传输线的封装技术。通过矢量分析仪在低温探针台上测试验证超导传输线的S参数。 低温高频S参数测试系统主要由低温探针台与矢量网络分析仪组成。待测样品放在低温探针台腔内的样品台。对低温探针台腔体抽真空后通过输入液氦使探针台腔内测试台温度达到液氦温度。探针台上的探针压触待测电路，并通过电缆与外界相连至矢量网络分析仪。使用的探针为无磁性高频三爪式探针，探针的三爪分别代表G（GND）、S（Signal）、G（GND）与CPW结构相对应。用校准片对两个探针在低温下校准去除跨温区影响。通过矢量分析仪自动扫频测量，得到S参数-频率曲线图。在预设扫频范围内的S参数中提取最小S21和最大S11。本数据集数据含量7.20MB。