硬脆材料超快激光微纳加工高时空分辨显微成像在线检测数据集

为了揭示硬脆材料飞秒激光微纳加工中等离子体动力学过程及其对形成微结构的影响，建立了高时空分辨的飞秒激光微纳加工阴影成像在线检测系统，揭示飞秒激光诱导等离子体时空演化与形成微结构之间的关系。本元数据集记录了所建立系统的时间和空间分辨率关键考核指标的支撑数据，以及不同功率和延迟时间下等离子瞬态时空分布特性实验数据、分析数据等图片、图表数据。时间分辨率分别采用强度自相关方法和鉴别率板成像方法测量。