ФОРМИРОВАНИЕ И ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ КОНЦЕНТРАЦИОННЫХ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ В КРИСТАЛЛАХ, ВЫРАЩЕННЫХ ИЗ РАСПЛАВА

С развитием субмикронной и наноэлектроники проблема повышения микрооднородности распределения легирующей примеси в выращиваемых кристаллах становится одной из важнейших задач материаловедения. Установление причины и механизма сегрегации примеси важно для оптимизации технологических решений с целью получения необходимых концентрационных профилей в выращенных из расплава кристаллах. Основной причиной возникновения концентрационных неоднородностей на микроуровне в виде полос роста является интенсивная нестационарная конвекция, в результате которой непрерывно меняются структура и скорости течений, возникают пульсации температуры и, как следствие, локальное изменение микроскопической скорости роста на границе кристалл расплав