Process Control Monitor (PCM) for Simultaneous Determination of the Piezoelectric Coefficients d31 and d33 of AlN and AlScN Thin Films
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资源简介：
Accurate and efficient measurements of the piezoelectric properties of AlN and AlScN films
are very important for the design and simulation of micro-electro-mechanical system (MEMS) sensors
and actuator devices.
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
创建时间：
2023-05-23
