Gamma index analysis test of the measured profiles according to TRS 430 [17] using the uncorrected SFD measurement as reference.
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Data show the percentage of the points with γ(Δδ, ΔD) ≤ 1.
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2018-05-15
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Data show the percentage of the points with γ(Δδ, ΔD) ≤ 1.