等离子体辅助力流变高效抛光工艺基础研究和设备开发数据集

本数据集主要围绕等离子体辐照SiC样品的改性作用开展了系统的实验研究及等离子体改性处理后的SiC样品的元素组分、机械性能和抛光行为进行了多维度的研究。接下来开展了等离子体辅助的力流变抛光实验。力流变抛光是一种借助非牛顿流体抛光液非线性流变学性质实现材料去除的非接触精密抛光技术。作为一种柔性抛光方法，力流变抛光可有效防止大磨粒对表面造成划痕，并利用磨粒在表面上的切向作用力实现材料去除，这有利于获得近似无损伤的表面。