减反复合结构硅材料光栅数据集

本数据集主要面向制作具有减反特性的复合结构光栅的工艺流程。光栅不仅能使光发生衍射效应，也可以同过自身的结构使光陷入其中，起到减少反射的作用。我们利用硅的各向异性湿法腐蚀在硅片的表面制成大规模的等间距的金字塔阵列。之后用金属催化腐蚀将其表面腐蚀出随机分布的纳米孔，增加其表面的粗糙度。本数据集包括使用FDTD方法计算得到的仿真结果，制作出结构的扫描电镜照片，以及其光学性能测试结果。