Coil voltage and current waveforms during ignition of a 10Pa Xe inductive discharge using two frequencies for excitation

Der Datensatz enthält die Oszilloskoprohdaten über den zeitlichen Verlauf der Spannung über und des Stroms durch eine Spule, die zum Anregen eines induktiv gekoppelten Plasmas verwendet wird. Anregung erfolgt mittels zweier überlagerter Frequenzen im Strom, wobei die erste bei ca. 2,5 MHz und die zweite bei ca. 7,5 MHz liegt. Der Strom- und Spannungsverlauf während der Zündung des Plasmas wurde aufgezeichnet. Bei verschiedenen Amplitudenverhältnissen zwischen 0 und 1 wurden jeweils 50 bis 60 Zündungen aufgenommen. Ebenso wird für diese Amplitudenverhältnisse der Punkt der minimalen Leistungseinkopplung eingestellt, der gerade noch die Aufrechterhaltung der induktiven Entladung gewährleistet. An diesem Punkt wurden die Spannung über und der Strom durch die Spule ebenfalls über die Zeit aufgezeichnet.