上海微系统所部分限定型器件数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
部分限定型相变器件工艺流程、器件结构以及热学模拟结果，具体包括以下几个数据：1）部分限定器件结构制备流程图；2）部分限定器件结构横剖面图；3）部分限定型器件热学模拟建立的模型；4）部分限定型器件热学模拟结构。
提供机构：
中科院上海微系统与信息技术研究所
