上海微系统所部分限定型器件数据

部分限定型相变器件工艺流程、器件结构以及热学模拟结果，具体包括以下几个数据：1）部分限定器件结构制备流程图；2）部分限定器件结构横剖面图；3）部分限定型器件热学模拟建立的模型；4）部分限定型器件热学模拟结构。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集包含部分限定型相变器件的工艺流程、器件结构横剖面图以及热学模拟模型与结果，数据以tif格式存储，共4条记录，由中科院上海微系统与信息技术研究所提供，来源于国家重点研发计划项目“新型高密度存储材料与器件”。