Solve for the error in the angular position of the mirror with or without the spot crosstalk suppression algorithm
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基于MMA角位置检测单元结合散斑串扰抑制算法,当存在散斑串扰影响时,利用散斑串扰抑制算法前后MMA微镜的精度误差值求解角位置。
创建时间:
2023-04-21

基于MMA角位置检测单元结合散斑串扰抑制算法,当存在散斑串扰影响时,利用散斑串扰抑制算法前后MMA微镜的精度误差值求解角位置。