结构光场纳米位移测量原理的计算与测试数据集

纳米精度光栅传感器制造能力的缺失，是我国高端装备发展的痛点与卡脖子问题。本数据集是超构光栅设计与测试数据，包含超构光栅结构设计与光学优化仿真数据、纳米位移解析过程的计算数据、超构光栅结构的特征表征数据，包括研究过程的研究模型数据、仿真数据及指标对应的专利和论文。本数据产生的时间是2021年12月1日至2024年11月30日，地点为西安交通大学、厦门大学的微纳制造实验室，表中数据是通过扫描电镜测得。