1950℃高温环境下碳化钽镀层物性分析测量数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=67d50eac195d260905af9954&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
进行碳化钽高温老化特性的研究。基于碳化硅外延工艺的技术特点及其超高温度的工艺环境，对反应腔室内的碳化钽镀层的老化特性进行研究。宏观上重点分析碳化钽镀层经过不同温度、时间的工艺条件下，镀层自身的强度、附着力的变化。微观重点分析镀层内部是否因高温和工艺气体的作用而发生层次老化现象。
提供机构：
中国科学院微电子研究所
