一种金刚石异质集成氮化镓薄膜与晶体管的微电子器件及其制备方法
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资源简介：
一种金刚石异质集成氮化镓薄膜与晶体管的微电子器件及其制备方法
提供机构：
上海微系统与信息技术研究所
创建时间：
2023-05-23
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