针对MEMS器件的标准化制造工艺的规程数据

本数据集数据包含了麦克风、惯性器件、压力传感器三个类别产品的工艺规程，规程内容包括器件加工的规范、工艺条件、基本的工艺规程和制作方法、安全操作以及检验等要求，相应产生7项发明专利。类型是文件，共17件。其中文件1~3为工艺规程，文件采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2021年12月至2024年11月，数据来源于芯联集成电路制造股份有限公司的生产线上。文件4~17为相应发明专利申请受理通知书及发明专利申请。数据量9.48MB。