微磨削切削深度的控制数据集

表征不同切割深度下的微槽底部形貌图像和表面粗糙度数据；表征不同切割深度下的微槽底部的表面微观形貌数据；表征微槽底部的亚表面损伤形貌数据。以上数据集用于形成微磨削切深对切割质量的影响研究报告，并同时作为 SiC 外延片机械-激光复合切割技术的开发基础。