新结构的3D NAND阵列数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-12-27 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=694c0e15195d261fbbe14dd0&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
本数据集来源于国家重点研发计划项目“3DNAND闪存未来技术（项目编号：2023YFB4402500）”。该数据集旨在系统研究三维结构阵列器件工艺开发及电学特性分析，内容涵盖三维工艺阵列制备优化、存储性能测试分析评估等方面。实验数据包括新结构3D NAND存储单元的物相结构分析、存储窗口指标。本数据集可为新结构3D NAND阵列器件的性能分析与优化研究提供重要数据支撑。
提供机构：
中国科学院微电子研究所
