纳光子器件微纳加工和光学表征测试数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
利于聚焦离子束系统、电子束曝光系统、台阶仪、暗场显微镜、远场显微探测光学系统、微区荧光显微系统等加工纳光子器件并进行光学表征，实现对光场的操控，并获得超小的纳光子器件，如微纳激光器、单光子源、传感器、发射器等。
提供机构：
北京大学
