LN薄膜层厚度原始数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
铌酸锂薄膜材料处于通信领域链上游，基于铌酸锂薄膜材料做成的光学器件，满足宽带通信系统对高性能、轻量化和集成化的迫切需求。
铌酸锂材料脆性大、不同材质晶圆热膨胀系数差别大，这对键合、分离、退火过程中避免薄膜炸裂、破碎，获得完整的大尺寸、完整的铌酸锂薄膜至关重要，薄膜越薄制作难度越大。
提供机构：
济南晶正电子科技有限公司
