硅基Micro-LED单色显示器研究数据

本数据集主要面向硅基Micro-LED单色显示器研究，基于CMOS电路上单色Micro-LED微显示器的集成工艺制造和微显示屏的性能测试产生，主要记录了单色Micro-LED微显示器SEM测试图片，发光像素点间距及芯片尺寸测试数据；微显示屏RDL层设计图及说明；Micro-LED芯片键合并去除硅衬底后的SEM图片、GaN刻蚀台面的高分辨SEM/TEM照片，及相应的文字说明；芯片转移良率及修复后不良率测试数据；发光像素巨量检测及逐点矫正修复前后的显示效果测试数据；单色Micro-LED显示器亮度测试等数据。数据总量137.74MB。