高性能、低功耗气敏元件设计制造技术的研究
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
有机框架材料及气体传感技术研究项目主要面向人居环境污染气体检测的迫切需求，开展新型传感材料和试用研究。本课题基于MEMS和QCM元件敏感性能的研究，进行高性能、低功耗气敏元件的设计制造。本数据集主要包括项目课题任务书要求的MEMS和QCM元件敏感性能指标的原始测量数据，数据量约4MB。
提供机构：
苏州大学
