外延生长AlSilicon样品材料表征数据

该数据集包含的数据主要是通过多种材料表征手段（原子力显微分析、反射式高能电子衍射、X射线衍射、X射线反射）表征通过分子束外延方式在硅衬底上制备的高品质铝薄膜特性，通过该数据集可以指导对材料生长过程中参数的优化，提升材料品质，为将来更大尺寸高品质样品的生长积累数据经验。