热流传感器抗失效分析及静态性能实验数据集

该数据集主要面向项目研究内容2“基于MEMS的抗高温失效薄膜封装方法研究”的相关研究，基于新型热流传感器的抗失效研究需求建设，基于GJB 8804-2015 0.05 W/cm2~2 W/cm2辐射热流传感器检定规程、JJG(军工)163-2019辐射热流传感器检定规程进行测试和分析、JJF(热)098-2014 10kW/m2~2000kW/m2标准辐射热流计校准规范和XJTU20240301MEC-01《热流传感器测试大纲》等标准方法约定的条件，以及标准热流计、标准热电偶、D8 ADVANCE A25, (Hormon Technology (Hong Kong) Co. Ltd., Germany)，THERMO SCIENTIFIC K-ALPHA+, (Thermo Fisher Scientific, USA)，标准k型热电偶（KAIPUSEN，中国），数字万用表（Keithley，美国），马弗炉（ThermoFisher，美国）等设备产生，所有测试样品由实验室自行研制。实验数据由试验人员和分析人员根据具体的实验方案在实验过程中采集。热流传感器测试数据采集方式是将制备好的传感器样品送至中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所检测分析，采用标准热流校准装置，测试主要依据是GJB 8804-2015 0.05 W/cm2~2 W/cm2辐射热流传感器检定规程、JJG(军工)163-2019辐射热流传感器检定规程进行测试和分析、JJF(热)098-2014 10kW/m2~2000kW/m2标准辐射热流计校准规范和项目论证的测试大纲。敏感薄膜复杂环境下的微观特征试验、抗高温失效薄膜制备与封装试验数据采集方式是将制备好的样品送至在精密微纳制造技术全国重点实验室进行测试。主要记录了对热流传感器工作温度范围和精度进行测试、对热流传感器工作热流密度范围进行测试，对抗高温失效薄膜制备与封装效果进行试验等内容数据，数据量27.3MB。对应指标2.3工作温度范围及该范围传感器精度误差（≤±3% F.S. @0℃~700℃）、指标2.4工作热流密度范围（100~1MW/m2）、指标2.5高温稳定工作时间（700℃下稳定工作时间≥24小时）、以及指标8.1论文，内含5个说明文件，5个表（10个分表）、3个第三方测试报告，9个图，5个元数据信息表。该数据集可对热流传感器的高温耐受能力、低误差表现与长时稳定工作特性提升奠定基础。可为适配钢铁冶金核心工序的严苛工况，为热工过程监测提供可靠支撑。