碳化硅基多层压电复合膜厚度极差及表面粗糙度性能数据集

本数据集通过压电材料的离子注入缺陷的截面和演化测试、键合界面的分析和压电薄膜的表面薄膜厚度分析等，优化压电材料的离子注入条件、键合条件和化学机械抛光条件等，制备晶圆级的碳化硅基压电薄膜。数据内容包括材料制备、性能测试、第三方测试报告等，可为高频低损耗声表面波器件用异质衬底研发提供全链条数据支撑。