高品质因子、晶体材料非对称光学微腔的制备与表征数据集

高品质因子晶体微腔基于离子束刻蚀为基础的微纳加工工艺进行制备。制备后在光纤锥耦合的条件下利用可调谐激光器进行模式泵浦检测，表征其品质因子以及其他光学效应。