碳化硅光机构件加工数据集

本数据集内容主要包含碳化硅光机构件前后两光学反射面加工过程中，面形误差的收敛过程，包括改性前每次加工流程结束后前后两个反射面面形误差分布的PV和RMS值；改性后每次加工流程结束后前后两个反射面面形误差分布的PV和RMS值；完成加工后反射镜表面粗糙度检测数据。数据对应4.1及论文支撑数据。