一维光栅位移测量装置

一种外差二维光栅位移测量系统，包括光源，所述光源用于产生两束重合、偏振正交且具有固定频差的线偏振光，分别为第一线偏振光和第二线偏振光；其特征在于，还包括读数头、光电接收模块和信号处理系统；其中，所述读数头用于接收所述第一线偏振光和所述第二线偏振光，并分别入射到二维测量光栅的表面生成第一维度±1级衍射光和第二维度±1级衍射光，第一维度±1级衍射光和第二维度±1级衍射光再经所述读数头分别入射到所述光电接收模块；所述光电接收模块用于分别根据所述第一维度±1级衍射光和所述第二维度±1级衍射光生成对应的拍频信号，发送至所述信号处理系统；所述信号处理系统用于对所述第一维度±1级衍射光生成的拍频信号进行差分计算和对所述第二维度±1级衍射光的拍频信号进行差分计算，实现所述二维测量光栅第一维度和第二维度的单次衍射4倍光学细分的位移测量。