HfO2基铁电薄膜及辐照实验数据

该数据集主要面向HfO2基铁电薄膜的制备及测试研究，基于中国科学院微电子研究所和南京泛铨电子科技有限公司的电学测试平台、X射线光电子能谱仪和高分辨率透射电子显微镜等产生，主要记录了2023年3月至2024年7月期间的研究结果，包括薄膜材料分析、薄膜电容电学特性、第三方测试报告和相关成果4个文件夹，数据总量173MB。主要内容包括： HfO2基铁电薄膜的厚度、晶相与元素分布等薄膜材料分析，不同厚度的HfO2基铁电薄膜电容的PV数据和疲劳特性数据， HfO2基铁电薄膜的厚度、电容电滞回线和耐久性第三方测试报告，以及与研究内容相关的3篇论文与1项专利。