高质量金刚石色心制备技术与装备过程报告

近年来，金刚石和类金刚石材料NV色心被认为是量子计算和量子传感领域的关键器件。传统的离子束注入等技术存在空间选择性差，工艺复杂等问题。飞秒激光微纳加工技术由于其独特的三维内部加工能力，成为制备金刚石和类金刚石材料NV色心的有前途的新原理技术。然而，由于金刚石材料折射率高，从而导致飞秒激光内部加工时焦点产生严重的时空变形，严重影响了加工精度。为了解决上述问题，项目立足于申请者前期在超快激光微纳加工领域的基础研究、核心技术、装备开发和器件应用上的积累，提出差动共焦成像与加工耦合监测的创新思想，以解决金刚石NV色心飞秒激光微纳制备的焦点变形问题；研制具有自主知识产权、能够满足金刚石类高折射率材料精密加工的超快激光微纳加工设备。