钻石NV色心磁场传感器探头器件及传感器
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本发明提供一种钻石NV色心磁场传感器探
头器件及传感器，该探头器件包括：光纤耦合模
块及多层叠探头芯片模块。多层叠探头芯片的加
工基于高精准度、高可靠的芯片加工工艺和MEMS
产线标准流程，可实现高一致性的批量加工；另
外，多层叠探头芯片通过MEMS键合技术，实现了
单晶钻石与晶圆的异质集成，实现了毫米芯片尺
寸级别的光学封装，极大地减小了传感器体积；
再者，光纤耦合模块与多层叠探头芯片的耦合形
成高Q值的FP腔结构，极大地提高了激发光的腔
内功率，从而提高传感器的激发效率；最后，多层
叠探头芯片的三层带开腔的键合结构，结合对荧
光高反射的介电膜层形成全高反射内腔，荧光唯
一出口为耦合的光纤，极大地提高了荧光的收集
效率
创建时间：
2023-05-23
