HZO电容极化开关时间与寄生RC和畴翻转动力学的耦合关系

铁电（ferroelectric，FE）极化翻转时间的测量长期以来被认为与RC延迟密切相关，但这一现象尚未得到充分理解，主要原因在于极化翻转过程中可能同时涉及多种外在和/或内在的RC效应。本数据集采集了HZO铁电电容不同RC、不同电场条件下的翻转电流，并通过特定的方法在极化翻转前及翻转过程中严格排除外在RC充电效应，分析了不同条件下极化强度随时间的变化，提取了极化翻转时间。数据集结果线是内在RC效应不仅在高电场条件下对极化翻转时间起主导作用，在低电场条件下同样会对其产生显著影响。本数据集为铁电器件开关速度的准确评估及其在集成电路中的设计提供了重要的数据支撑。