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LED器件SEM表征数据集

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国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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https://www.nbsdc.cn/general/dataDetail?id=64edfcb2bb16e0300cd4dfea&type=1
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官方服务:
资源简介:
SEM观察的是器件的三维形貌,用于获得更高分辨率、三维立体的侧面或剖面图像。主要内容是LED器件制备流程中的高分辨率图像,体量为2.60MB。
提供机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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