远程等离子源解离率检测数据集
收藏江苏数据知识产权登记系统2025-09-17 更新2025-10-10 收录
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资源简介:
公司自有产品测试数据集,数据包括至今为止远程等离子源检测数据集,具体包括:NF3气体的不同浓度下所对应的傅里叶红外光谱波形、NF3气体的不同浓度与所对应的光谱峰值形成的拟合数据集
提供机构:
江苏神州半导体科技有限公司
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