远程等离子源解离率检测数据集
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公司自有产品测试数据集，数据包括至今为止远程等离子源检测数据集，具体包括：NF3气体的不同浓度下所对应的傅里叶红外光谱波形、NF3气体的不同浓度与所对应的光谱峰值形成的拟合数据集
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公司自有产品测试数据集，数据包括至今为止远程等离子源检测数据集，具体包括：NF3气体的不同浓度下所对应的傅里叶红外光谱波形、NF3气体的不同浓度与所对应的光谱峰值形成的拟合数据集